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半导体设备真空腔高精度测温系统

更新时间:2024-05-26

简要描述:

半导体设备真空腔高精度测温系统Vac.TEMP TS
1、精密测温NTC传感器;
2、真空贯通法兰;
3、精密多通道测温仪;
4、温度采集分析软件DAQ TEMP。

型号:Vac.TEMP TS点击量:227

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半导体设备真空腔高精度测温系统Vac.TEMP TS

1、精密测温NTC传感器;

2、真空贯通法兰;

3、精密多通道测温仪;

4、温度采集分析软件DAQ TEMP。

半导体设备真空腔高精度测温系统精密NTC测温传感器技术规范


名称

指标

标称电阻

10000Ω@25℃

绝对精度

≤10、5、1mK

重复精度

≤1mK@30min、1Hz

年漂移量

<10、5、1mK

线制

4线

探头封装

316L圆柱封装或定,内部填充不留气,不漏气

引线材质

PTFE(真空)

响应时间

≤1s

探头尺寸

≤φ2.0*10mm

连接器 

DB

真空馈通

法兰

引线端子

智能航插

校准

提供校准报告


温度采集仪618A/NTC技术规范


名称

指标

温度校准范围

16-70℃

测量模块绝对精度

≤10、5、1mK@1Hz/通道

测量模块年漂移

≤10、5、1mK

测量通道数量

4、8、16、32、120个可选

采样频率

可调,最大≥10Hz/通道

激励电流

≤10uA

运行/故障指示灯

单通道独立控制

输入

4线制NTC

通讯接口

LAN/RS485/USB

通讯协议

Modbus RTU

数据格式

机器时间-对应通道的温度值

设备记录时间功能

有内部时钟,采集频率<1Hz时,时间差≤0.1s

测温探头接口

航空插头

软件

配套DAQ数据采集软件

供电电源

AC220V适配器


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