更新时间：2024-05-26
半导体设备真空腔高精度测温系统Vac.TEMP TS1、精密测温NTC传感器；2、真空贯通法兰；3、精密多通道测温仪；4、温度采集分析软件DAQ TEMP。
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半导体设备真空腔高精度测温系统Vac.TEMP TS
1、精密测温NTC传感器；
2、真空贯通法兰；
3、精密多通道测温仪；
4、温度采集分析软件DAQ TEMP。
半导体设备真空腔高精度测温系统精密NTC测温传感器技术规范 |
名称 | 指标 |
标称电阻 | 10000Ω@25℃ |
绝对精度 | ≤10、5、1mK |
重复精度 | ≤1mK@30min、1Hz |
年漂移量 | ＜10、5、1mK |
线制 | 4线 |
探头封装 | 316L圆柱封装或定，内部填充不留气，不漏气 |
引线材质 | PTFE（真空） |
响应时间 | ≤1s |
探头尺寸 | ≤φ2.0*10mm |
连接器 | DB |
真空馈通 | 法兰 |
引线端子 | 智能航插 |
校准 | 提供校准报告 |
| 温度采集仪618A/NTC技术规范 |
名称 | 指标 |
温度校准范围 | 16-70℃ |
测量模块绝对精度 | ≤10、5、1mK@1Hz/通道 |
测量模块年漂移 | ≤10、5、1mK |
测量通道数量 | 4、8、16、32、120个可选 |
采样频率 | 可调，最大≥10Hz/通道 |
激励电流 | ≤10uA |
运行/故障指示灯 | 是 |
单通道独立控制 | 是 |
输入 | 4线制NTC |
通讯接口 | LAN/RS485/USB |
通讯协议 | Modbus RTU |
数据格式 | 机器时间-对应通道的温度值 |
设备记录时间功能 | 有内部时钟，采集频率＜1Hz时，时间差≤0.1s |
测温探头接口 | 航空插头 |
软件 | 配套DAQ数据采集软件 |
供电电源 | AC220V适配器 |
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