微型无线温度记录器光刻系统是制造芯片的核心装备，其中温度的检测尤为重要，温度会影响光刻胶流动，从而影响光刻的成品率。微型无线温度记录器体积微小，重量轻，携带方便。适用于曝光系统，光刻系统等的温度检测记录。 产品特点 1. 体积微小、灵活通用； 2. 温度准确度小于10mK； 3. 采用无线通讯方式，响应时间短，可连续工作时间超过10天。 产品尺寸 长20mm×宽

掩膜无线测温系统光掩膜又称光罩，是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形，并通过曝光将图形转印到产品基板上。在半导体芯片加工制造过程中,光掩膜版表面的温度均匀性要求非常高，需要严格的温度测量和控制。掩膜无线测温系统用于准确测量光掩膜版的温度分布。

便携式氮气分析仪GPR-1200C适用于需要用先进高精度仪表在规定测量点控制微量氧气或气体纯度的应用。采用紧 凑而坚固的外壳、不锈钢气路材质、一体式流量计和针阀，可对惰性气体、二氧化碳和氧气进行纯度测量。 客户可以利用四通阀将样气捕集到传感器中，在移动中更快地测量氧气含量。这样还能有效保护微量氧传感 器，防止由于暴露在环境氧水平中而过早损耗。具有更长的传感器寿命， 因此能降低运行成本和拥有成本。

高精度铂电阻温度传感器 产品概述 高精度铂电阻温度探头采用行业的真空 PVD 沉积、 MEMS 精密加工等技术，已经完成 -70℃ ～ 1000℃宽温区传感器芯片国产化。主要技术指标达到进口产品水平，具备 MEMS 加工先进技术装备和工艺， 可以为客户提供 MEMS 工艺代加工和传感器芯片开发合作业务。可用于各类仪器仪表制造业和制造各种温 度传感器，更适合对温度测量精度

堆栈式温度测量仪是公司国产化仪表，国产化率 100%，对标 1560。它由一个主控制器及附加测温模块组成，内置 ITS90 温标，能直观显示温度、电阻，具备图形、统计、存储功能。可实时显示测量数据，如通道间差值、标准偏差、均值、最大值、最小值等，并可图形化监视温度变化。支持单个或多个测量模块与主机组合测温，带内部时钟，可标记测量结果的时间和日期。主要应用于温度分布测试、温度检验、传感器校准等

RTD Wafer 晶圆有线测温系统 仪表化晶圆（热电偶或RTD）适用于半导体加工设备，在这些设备中，了解和控制晶圆表面的温度至关重要。

漏液传感器LUP系列 主体材质:PP(聚丙烯)电缆材质:PVC(聚氯乙烯)检测液体:水，油，酒精，部分有机物液体等。

液压流量压力温度转速曲线液压测试仪屏幕或通过PC联机软件可以显示各类分析曲线，可以打印报表，是种完整的现场调试、采集设备。 适合工程师现场或出差调试，测试用； 适合中型试验台； 具备硬件滤波，适合噪声环境用； 液压测试仪可以压力、流量、温度、转速数字显示、时间曲线、XY曲线等实时或离线数据与曲线； 液压测试仪是种多功能的测试和控制系统，是种稳定、可靠的定型测控产品，适合工程机械现场在线调试，测试用

钝化膜测试仪Oxilyser3新模式，从2009年8月无源测试，将会向市场推出。此为被动测试方法已成为在航运业方面的被动测试和表面状态的不锈钢罐的标准。此外酸洗和钝化公司，以及不锈钢加工商，经常使用的Oxilyser。

高压气体粒子计数器 高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。