国产表面尘埃0.1颗粒检测仪

国产表面尘埃0.1颗粒检测仪表面尘埃粒子检测仪是一款面向制造、半导体工艺、光电显示及精密加工领域的高灵敏度检测设备。 它通过光散射探测与智能识别算法，对材料表面的微小尘埃、颗粒及污染物进行实时检测与量化分析，帮助用户精准 掌握洁净度状况，提升生产良率与质量控制水平。  这款设备由国内团队自主研发，核心光学、算法与电子系统均实现国产化突破，是一款可替代进口设备的高 性能粒子检测解决方案。  测试流程：探头扫过要测试的样品表面，表面上的颗粒被通过扫描头上的开口排出的高压空气流化。然后这些粒 子通过探头气管被拉到表面粒子检测器，在那里记录粒子水平并以原始粒子计数，颗 in2  或 颗表示；该系统 采用固态激光二极管光源和收集光学器件，用于检测和确定通过扫描头拉出的颗粒的大小。收集光学器件将光聚焦 在光电探测器上，该光电探测器将光脉冲转换为电脉冲。脉冲高度与颗粒大小成正比，装置采用光散射激光技术来量 化表面污染颗粒的相对水平。

表面尘埃粒子检测仪 高集成度采样探头：将进气，出气集成到探头里，探头材料采用化学性质稳定、防静电、耐摩擦等特性，在充分吹扫表面探 头所覆盖区域颗粒物的同时，还能有效的将所有的颗粒通过管道置换到设备检测光腔内，得到准确、灵敏、可靠的结果。 自动校准算法：自动区分颗粒类型与尺寸区间，减少人为误差，提高检测一致性。 实时可视化分析平台：高速信号采样与数据融合算法，支持结果图形化展示：粒径分布曲线、密度趋势、 异常警报等一目了然，便于工艺溯源与质量评估。 模块化设计，适应多场景应用：仪器采用主机 + 可更换探头结构，可适配平面、凹槽、边缘等复杂表面， 实现现场灵活检测。支持静态与动态模式切换。  

噪音低，气流平顺 国产高精度 高集成度采样探头 即插即测，智能校准，一键生成可视化洁净报告

国产表面尘埃0.1颗粒检测仪特点

高集成度采样探头：将进气，出气集成到探头里，探头材料采用化学性质稳定、防静电、耐摩擦等特性，在充分吹扫表面探 头所覆盖区域颗粒物的同时，还能有效的将所有的颗粒通过管道置换到设备检测光腔内，得到准确、灵敏、可靠的结果。 自动校准算法：自动区分颗粒类型与尺寸区间，减少人为误差，提高检测一致性。 实时可视化分析平台：高速信号采样与数据融合算法，支持结果图形化展示：粒径分布曲线、密度趋势、 异常警报等一目了然，便于工艺溯源与质量评估。 模块化设计，适应多场景应用：仪器采用主机 + 可更换探头结构，可适配平面、凹槽、边缘等复杂表面， 实现现场灵活检测。支持静态与动态模式切换。

高稳定性与环境补偿：内置温湿度补偿与防振动设计，在洁净室、实验线及户外实验等多种环境下均 能保持高精度与长期稳定运行。 开放式数据与系统兼容性: 支持多种数据接口USB，RS485，可与MES、QMS 等系统无缝集成，实现检测信息的自动归档与追溯。

表面尘埃0.1颗粒检测仪应用领域 半导体晶圆与光掩膜检测 光电显示与玻璃基板制造 精密机械与光学元件加工 医疗器械与高洁净生产线 材料表面洁净度评估与认证

表面尘埃0.1颗粒检测仪技术参数  应用领域 半导体晶圆与光掩膜检测 光电显示与玻璃基板制造 精密机械与光学元件加工 医疗器械与高洁净生产线 材料表面洁净度评估与认证 表面探头类型 表面探头规格 功 能 电 源 打印功能 数据存储 重 量 圆形 15、20、30、50、70mm(直径)；标配一个50mm 表面探头 根据探头的形状(如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸)， 自动计算出表面积, 直接判定SCP等级 可拆卸锂电池，可充电DC24V 热敏打印机 可存储至少100,000组数据 8.8Kg  SCP等级 1级~8级 外形尺寸 250 × 240 × 310 mm(不含气嘴，把手等附件）