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水中臭氧分析仪

更新时间:2022-05-31

简要描述:

水中臭氧分析仪470是zuix进的溶解臭氧测量模块,为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁", 能够满足高纯度半导体过程的需求,并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中,最高支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术,达到 了wu与伦比的性能,且摆脱了对参比液体测 量的需求

型号:470点击量:143

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水中臭氧分析仪470是zuixian进的溶解臭氧测量模块,为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁", 能够满足高纯度半导体过程的需求,并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中,最高支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术,达到 了wu与伦比的性能,且摆脱了对参比液体测 量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包 裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模 拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报 告测量的浓度。

水中臭氧分析仪技术指标
  • 测量原理 :紫外吸收法,双路取样传感技术 

  • 紫外光源 :低压汞灯 

  • 测量单位 :ppmw, mg/L 

  • 量程 :高达150 mg/L (150 ppmw) 

  • 精度 :0.5mg/L 或 1%读数 (以较大值为 

  • 准) 

  • 水流量 :高达150 SLPM 

  • 采样端口 :1", 3/4", 3/8" Flaretek 连接 

  • 最大压强 :55 PSI 

  • 接触材料 :特氟龙, 蓝宝石, 与半导体流程相容 

  • 外壳 :聚四氟乙烯特氟隆

  •  

  • 尺寸 :5.69" 宽 x 6.8" 高 x 3.2" 长 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm) 

  • 维护 :紫外灯每24个月替换一次 无其他预定维护 

  • 电缆 :特氟龙外层 

  • 电源 :+15 VDC 

  • 认证 :CE 认证 

  • 模拟输出 :4到20mA或0到5VDC,出厂时选择 

  • 数字 I/O :RS-232 或 RS485,出厂时选择 

  • 远程校零 :通过DB15进行远程零点校准


产品特点
  • 现场检测

  • 在线且全流量监测

  • 直线通过的流型

  • 无移动部件

  • 无消耗品

  • 测量范围最高达150 mg/L

  • 远程零点校准

  • 高精度紫外吸收法

  • 双光道采样感应技术

  • 不需求日常维护

  • 半导体级别湿式材料

  • 紧凑的特氟龙外壳

  • 特氟龙7包裹的内部连接电缆

应用

 

  • 液态溶解臭氧

  • 半导体湿法清洗系统

  • 超纯水系统

  • 制药业

  • 水处理

  • 其他工业过程


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