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超级管道气体品质检测

更新时间:2021-07-14

简要描述:

超级管道气体品质检测五项测试检测出报告测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试。注:1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后

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超级管道气体品质检测五项测试检测技术内容

 

超级管道气体品质检测半导体行业气体品质检测测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试

注:1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后,以阀箱或气柜内之test port通入N2(c)进行测试,如N2(C)纯度不够无法满足要求,厂商需自配纯化器。

    2、施工purge及保压、微粒、水份测试等限定使用N2超级管道气体品质检测

 

超级管道气体品质检测五项测试检测出报告一、管线测试规范如下:

1.管路持压测试

Bulk-gas及Purified-gas持压测试时间≧6小时; Special-gas持压测试时间≧24小时 (须检附保压记录器圆盘记录纸);合格标准:气体保压测试初始压力7.5~8.5 kg/cm2,持压后△P≦1%初始压力

 

2.管路微粒测试

Purified-gas 及 Special-gas气体管路须进行微粒测试,并须检附Particle Counter纪录纸;合格标准:每10分钟测1点,连续测3次,Purified-gas、Special gas粒径≦0.1μm,颗粒数≦0 pcs/cf

 

3.管路水份/氧分析测试

Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)气体管路须进行水份、氧分析测试,并须检附水份、氧分析仪纪录纸;合格标准:测试时间30分钟,D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析仪误差range为±4ppb,允许实测读值应小于6ppb

 

4.管路氦测漏

Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)气体管路须进行氦测漏测试,并须检附氦测漏机纪录纸;合格标准:测试时间30分钟,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

 

.测试要求:

所有测试按接机点计算,必须保证所有管路均有测试,必须将所有管路末端单一逐一测试,或者末端串联测试,保证管路都经过仪器检测,测试高纯气体与特殊气体分开测试。

 

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