更新时间:2021-07-14
微电子行业气体品质检测微电子行业气体品质检测五项测试检测出报告测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试。注:1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后
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微电子行业气体品质检测五项测试检测技术内容
微电子行业气体品质检测测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试。
注:1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后,以阀箱或气柜内之test port通入N2(c)进行测试,如N2(C)纯度不够无法满足要求,厂商需自配纯化器。
2、施工purge及保压、微粒、水份测试等限定使用N2微电子行业气体品质检测
微电子行业气体品质检测五项测试检测出报告一、管线测试规范如下:
1.管路持压测试
Bulk-gas及Purified-gas持压测试时间≧6小时; Special-gas持压测试时间≧24小时 (须检附保压记录器圆盘记录纸);合格标准:气体保压测试初始压力7.5~8.5 kg/cm2,持压后△P≦1%初始压力
2.管路微粒测试
Purified-gas 及 Special-gas气体管路须进行微粒测试,并须检附Particle Counter纪录纸;合格标准:每10分钟测1点,连续测3次,Purified-gas、Special gas粒径≦0.1μm,颗粒数≦0 pcs/cf
3.管路水份/氧分析测试
Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)气体管路须进行水份、氧分析测试,并须检附水份、氧分析仪纪录纸;合格标准:测试时间30分钟,D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析仪误差range为±4ppb,允许实测读值应小于6ppb
4.管路氦测漏
Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)气体管路须进行氦测漏测试,并须检附氦测漏机纪录纸;合格标准:测试时间30分钟,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec
二.测试要求:
所有测试按接机点计算,必须保证所有管路均有测试,必须将所有管路末端单一逐一测试,或者末端串联测试,保证管路都经过仪器检测,测试高纯气体与特殊气体分开测试。