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掩膜无线测温系统

更新时间:2024-09-03

简要描述:

掩膜无线测温系统光掩膜又称光罩,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。在半导体芯片加工制造过程中,光掩膜版表面的温度均匀性要求非常高,需要严格的温度测量和控制。掩膜无线测温系统用于准确测量光掩膜版的温度分布。

型号:RD8655点击量:131

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掩膜无线测温系统光掩膜又称光罩,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。在半导体芯片加工制造过程中,光掩膜版表面的温度均匀性要求非常高,需要严格的温度测量和控制。掩膜无线测温系统用于准确测量光掩膜版的温度分布。

掩膜无线测温系统产品特点主要技术参数

1.  体积小、精度高、采样速度快;

2. 温度准确度高达1mK

3采用无线通讯方式,响应时间短。

掩膜无线测温系统

温度范围

0 ~ 30℃

温度准确度

1mK(3σ)

重复测量准确度

<2mK(3σ)

传感器响应时间

1s

采集频率

max.4Hz

连续工作时间

100min

传感器数量

14

通讯方式

Wifi

保修期

1年




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