更新时间:2024-07-30
RTD Wafer 晶圆有线测温系统仪表化晶圆(热电偶或RTD)适用于半导体加工设备,在这些设备中,了解和控制晶圆表面的温度至关重要。
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RTD Wafer 晶圆有线测温系统
仪表化晶圆(热电偶或RTD)适用于半导体加工设备,在这些设备中,了解和控制晶圆表面的温度至关重要。
RTD Wafer 晶圆有线测温系统
测温范围:-40℃至250℃
电阻器:薄膜铂
电阻:0°C时标称电阻值为1000 Q
精度:±0.1℃
测温点数:1~68个
传感器引线:可定制
可提供绝缘:聚酰亚胺涂覆的铜引线
测温探头接口:DB37
晶圆材质:硅片,蓝宝石,碳化硅等(基材形状和尺寸可定制)
晶圆尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm
真空贯通带:聚酰亚胺扁平电缆,大气压可达10-7Torr(长度由客户定)