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半导体特殊材料气体在线颗粒数仪

更新时间:2023-03-12

简要描述:

中国台湾Reliya半导体特殊材料气体在线颗粒数仪同时进行四通道颗粒量测,量测范围为 0.1μm 以上,0.2μm 以上, 0.3μm 以上,0.5μm以上流量: 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量测大宗气体及一般惰性气体检测气体时,机台内部气体残留之问题支持 N2 , CO₂ , Ar , He , CDA ,等气体以连续在线检测管道气微颗粒,稳定性,可靠性好日常维护方便

型号:HGPC – 100ex点击量:1388

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  中国台湾Reliya半导体特殊材料气体在线颗粒数仪同时进行四通道颗粒量测,量测范围为 0.1μm 以上,0.2μm 以上, 0.3μm 以上,0.5μm以上流量: 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量测大宗气体及一般惰性气体检测气体时,机台内部气体残留之问题支持 N2 , CO₂ , Ar , He , CDA ,等气体以连续在线检测管道气微颗粒,稳定性,可靠性好日常维护方便,检测气体时,机台内部气体残留之问题,防爆設計支持 H2 , O2 , 等气体自动粒子计数器控制,数据采集,实时 图形显示,可以记录和打印输出测试结 输出 显示屏幕: 7 寸彩色触摸屏 数据输出: USB, RS232 机壳 主体 : 240 mm (H) X 380 mm (W) X 480 mm (D)  22 Kg 显示器: 180 mm (H) X 240 mm (W) X 315 mm (D)  8 Kg 功率:100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz, 2.0 Amp

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