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ALICAT 气体质量流量控制器

更新时间:2022-11-15

简要描述:

ALICAT 气体质量流量控制器21系列,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度,适用于多种流量测控场合。

型号:21系列点击量:74

  免费咨询:86-021-59966206

  发邮件给我们:501630350@qq.com

ALICAT 气体质量流量控制器21系列

应用及案例


● 大学/研究所                  ● 环境监测

● 真空行业及镀膜            ● 工业炉窑

● 半 导   体                      ● 汽车制造

● 光       伏                      ● 燃料电池

● 计量校准                      ● 过程工艺气体测量

ALICAT 气体质量流量控制器21系列

产品特色


● 数字化产品

● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等

● 多参数控制,如体积流量、质量流量和压力

● 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板

● 可选高精度:优于0.5%读数

● 量程可控比宽,0.01~100%满量程

● 响应时间快,优于30 ms

● 内置98种气体

● 可现场编辑混合气体(最多5种成分),并最多存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM -6000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度    ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)

质量流量高精度      ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)

重复性              ±(0.1% 读数 + 0.02% 满量程)

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃(从25℃开始)

                    ± 0.01%满量程/ Atm(从校准压力开始)

质量流量量程漂移    ± 0.01%读数/ ℃(从25℃开始)

                    ± 0.1 %读数/ Atm(从校准压力开始)

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考气体兼容表

            一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量    程       从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比(稳态)    0.01~100%满量程

最大显示流量    128 %满量程

最大可控流量    102.4 %满量程

显 示 屏    带背光灯按键,标准为LCD黑白显示屏(带背光),可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精    度    ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程)精度升级部分见左下角

            ±(0.4 %读数 + 0.2 %满量程)(可选)

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差

重 复 性    ±(0.2% 读数 + 0.02% 满量程)

质量流量温度零点和满量程漂移    0.02%满量程/ ℃(从25℃开始)

质量流量压力零点和满量程漂移    ±(0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程)/ Atm(从校准压力开始)

控制响应时间    30ms(与流量相关,用户可调)

显示响应时间    <10ms(与流量相关)

预热时间    <1s

默认标况(STP)    25 ℃&1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0 ~ 95 %,无冷凝

最大工作压力    1 MPa表压

最di操作压力    如果不做真空特殊标定,建议在绝压80KPa以上使用;其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%读数(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率;

                模拟信号:1000Hz

屏幕刷新频率    10Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     12-30 VDC (如选4-20 mA输出,须为15-30 VDC )

供电电流    250 mA,1 A,2 A(详情咨询)

            额外加 40 mA( 4 - 20 mA)

电气接口    DB9M,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    质   302、303、304、316L、430FR不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、铜、金、陶瓷

             R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢

过程连接    标准为NPT内螺纹,详情参考压损表

安装位置    小阀门无要求,R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级    IP40(IP66可选)

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)


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