ALICAT 气体质量流量控制器

ALICAT 气体质量流量控制器21系列

产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

● 可选高精度：优于0.5%读数

● 量程可控比宽，0.01~100%满量程

● 响应时间快，优于30 ms

● 内置98种气体

● 可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度    ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度      ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性              ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）

                    ± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移    ± 0.01%读数/ ℃（从25℃开始）

                    ± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

            一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量    程       从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比（稳态）    0.01～100%满量程

最大显示流量    128 %满量程

最大可控流量    102.4 %满量程

显 示 屏    带背光灯按键，标准为LCD黑白显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精    度    ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）精度升级部分见左下角

            ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差

重 复 性    ±（0.2% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移    0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm（从校准压力开始）

控制响应时间    30ms（与流量相关，用户可调）

显示响应时间    ＜10ms（与流量相关）

预热时间    ＜1s

默认标况（STP）    25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

最大工作压力    1 MPa表压

最di操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPa以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%读数（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率；

                模拟信号：1000Hz

屏幕刷新频率    10Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     12-30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）

供电电流    250 mA，1 A，2 A（详情咨询）

            额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    质   302、303、304、316L、430FR不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、铜、金、陶瓷

             R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢

过程连接    标准为NPT内螺纹，详情参考压损表

安装位置    小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级    IP40（IP66可选）

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）