ALICAT 气体质量流量控制器

ALICAT 气体质量流量控制器01系列

产品特色

● 价格低廉，性能卓yue

● 超小的体积，轻松置于掌心，适合系统集成

● 快速响应，优于70 ms的预热时间

● 压损极低，最小满量程压损仅为1KPa

● 内置精巧的PD阀（比例微分阀），控制稳定、精确

● 测量和控制范围0.5 ~ 100%满量程，一台设备适用于多个应用

● 配备模拟控制和数字控制

● 卓yue的抗振性能，可适用于铁路焊机等严格场合

技术指标

介质要求    洁净、干燥、无腐蚀性气体

介质种类    每台设备只能选择A，B，C其中一种

                  A：空气（AIR）、氩气(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮气(N2)、          

                   氧气(O2)、一氧化二氮(N2O)，可通过数字方式切换

                   B：氦气(He)；

                   C：氢气(H2)，其他气体需咨询     

量        程    0-100 SCCM ，0-1000 SCCM， 0-20 SLPM，0- 50 SLPM                       

                  （注：选择CO2和N2O后量程降低为原来的75%）

测量和控制范围    1 ~ 100%满量程 （0-100 SCCM）

                             0.5 ~ 100%满量程

                            （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

精       度    ±（1.5 % 读数 + 0.5 % 满量程）

重  复  性    ± 0.5 % 读数

质量流量温度漂移    ± 0.2 % 满量程 / ℃

时间漂移    0.05%满量程/年

累计流量精度：标准精度额外增加±2%读数

响应时间    优于100 ms                   

预热时间    70 ms

默认标准状况（STP）    25℃ & 1Atm（其它标况可定制）

工作温度    0 ～ 50℃                     工作湿度    <  90 %，无冷凝

最大工作压力    0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM为145PSIG                     

                          0-20 SLPM为60 PSIG

耐       压    175 PSIG

数字输入/输出信号    RS485或RS232，Modbus RTU协议

模拟输入/输出信号    0 - 5 VDC或4 - 20 mA

模拟信号刷新频率    400 Hz

供电电压    10-30 VDC                    

供电电流    200 mA

泄  漏  率    阀门泄露：10-5 Atm cc/sec He ，外漏：10-9 Atm cc/sec He       

材        质    主体材质： 316不锈钢

                  阀体材质：黄铜，302，303，430FR不锈钢

                  密封材质：FKM（Viton）；传 感 器：氮化硅

过程连接    NPT或SAE内螺纹

振       动    20g；MIL-STD-883E，Method 2002.4

安装方式    对位置无要求                 

阀门类型：常闭 

防护等级    IP40

认       证    CE、RoHS、REACH

尺寸详图

尺寸压损