上海睿丹自动化仪表有限公司MFC维修校准服务可以修复半导体行业的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 对于Cl2和Br2 MFC，我们建议客户更换新的，我们也可以提供1对1的交换服务。 品牌 型号 Brooks(Unit) GFC...

ALICAT 手持式大气采样流量校准仪66系列，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置大气压传感器和外置温度探头对当前大气压和环境温度进行精确瞬间测量，专门针对环保法规要求设计。ALICAT 66系列手持式大气采样流量校准仪，可现场显示当前大气压、温度、湿度、体积流量和质量流量，主要用于大气颗粒物校准仪采集器流量的定期校准，方便快捷。

ALICAT 便携式高压气体质量流量计62Q系列，这款多功能62Q系列便携式高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压（160-320 psia）条件下运行流量所需时间，还能够瞬间提供多种气体的实时读数，从而缩短停机时间和过程中断时间。

ALICAT 气体质量流量计-便携式-低压损型62W/62AW系列采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，用于现场多种流量校准和检测场合，超低压损更加适用于要求苛刻的环保检测行业。

ALICAT 气体质量流量计-便携式62/62A系列，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，更方便用于现场多种流量校准和检测场合。

ALICAT 气体质量流量控制器01系列，采用了热帖片式原理，而且克服了热式对于预热时间的要求，01系列的预热时间仅需要70ms，且保证了流量控制的稳定性和精确度。01系列测量和控制范围高达0.5 ~ 100%，可以满足更多的客户流量控制应用场合。 材质上，01系列采用了316不锈钢主体，FKM密封，并具备较强的抗振动性能。

ALICAT 截止阀质量流量计控制器21VS系列，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21VS系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度。

ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器21V系列，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21V系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。

ALICAT 高压气体质量流量控制器21Q系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 PSI绝压）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。

ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型21S系列，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。