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ALICAT 高压气体质量流量控制器

更新时间:2022-11-16

简要描述:

ALICAT 高压气体质量流量控制器21Q系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320 PSI绝压)的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能够快速实现稳定控制。

型号:21Q系列点击量:119

  免费咨询:86-021-59966206

  发邮件给我们:501630350@qq.com

ALICAT 高压气体质量流量控制器21Q系列

应用及案例


● 大学/研究所                 ● 环境监测

● 真空行业及镀膜           ● 工业炉窑

● 半  导  体                     ● 汽车制造

● 光       伏                     ● 燃料电池

● 计量校准                     ● 过程工艺气体测量

ALICAT 高压气体质量流量控制器21Q系列

产品特色

●  多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSERTM气体编辑器确定自己的气体组成。

●  连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

●  耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让介质暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。


精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度         ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程(取最大值)

测量和控制范围             0.1 ~ 100%满量程

重复性                          ± 0.1%满量程


技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考气体兼容表

                   一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程     从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

量程可控比(稳态)    0.5% ~ 100%满量程

最大显示流量    高达128%满量程(取决于气体)

最大可控流量    102.4%满量程

显  示  屏    带背光按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程    精度升级见左下角

重  复 性    ± 0.2%满量程

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃(从25℃开始) 

                                 ± 0.01%满量程/ Atm(从校准压力开始)

质量流量量程漂移    ± 0.01%读 数/ ℃(从25℃开始) 

                                 ± 0.1 %读 数/ Atm(从校准压力开始)

控制响应时间(T63)    优于100 ms(与流量相关,用户可调)

显示响应时间    <10 ms(与流量相关)             

预热时间    <1s

默认标况(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ~ 95%

最大工作压力    320 PSI 绝压

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率;模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、                                 

                   EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     12 - 24 VDC 

供电电流    0.250 -1A(+40 mA,对于4-20 mA输出)

电气接口    DB9M,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12等

泄漏率(外漏)    选择HLCP选项,泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He 

材       质    302,303,304,316L,430,410不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、

                   硅橡胶、聚酰胺、环氧树脂、金、铜、硅、玻璃。

过程连接    详情参考压损表

安装位置    小阀门无要求,R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)


选项配件


(需另行订购)

●  过程端口接头和过滤器

●  电源

●  通讯线缆和转换线缆

●  BB3和BB9多点式集线盒

●  Flow Vision软件

包装清单


●  MCQ系列高压气体质量流量控制器(电源需另行订购)

●  NIST可溯源校准证书

●  艾里卡特操作说明书

尺寸详图


21Q尺寸图.png



尺寸压损


满量程质量流量控制器

满量程压损(PSID)

排气到大气中

机械尺寸1

过程连接2

10 SCCM ~ 50 SCCM

1.0

3.9''H x 3.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)(内螺纹)

100 SCCM ~ 500 SCCM

1.0

4.1''H x 3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT 内螺纹

1 SLPM

1.5

2 SLPM

3.0

5 SLPM

2.0

10 SLPM

5.5

20 SLPM

20.0

50 SLPM

9.0

5.5''H x 7.7''W x 2.3''D

1/4'' NPT 内螺纹

100 SLPM

2.6

250 SLPM

4.6

5.5''H x 7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT 内螺纹

500 SLPM

6.5

5.5''H x 7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT 内螺纹

(A 1-1/4" NPT 内螺纹可选过程连接

可用于2000 slpm 流量计)

1000 SLPM

14.0

1500 SLPM

17.0

2000 SLPM

28.6

5.5''H x 8.1''W x 2.9''D

3000 SLPM

16.8

5.5''H x 8.9''W x 2.9''D

1-1/4'' NPT 内螺纹

注1、公制数据见图纸;

2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容,也可根据要求连接VCR和SAE。

3、与M-5 (10-32)外丁腈橡胶O形圈表面密封至1/8''NPT内螺纹接头一起装箱。



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