更新时间:2022-11-15
ALICAT 高压气体质量流量计20Q系列,这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。,
免费咨询:86-021-59966206
ALICAT 高压气体质量流量计20Q系列
应用及案例
● 大学/研究所 ● 泄漏检测
● 环境监测 ● 真空行业及镀膜
● 汽车制造 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
● 工业炉窑 ● 半 导 体
● 光 伏
产品特色
● 准确。流量测量具有NIST可溯源精度,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
● 使用简单。只要您打开气体质量流量计,气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
● 连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
量程为10 SCCM - 3000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程(取最大值)
测量范围 0.1 ~ 100%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差
± 0.1 %读 数/ Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体,请参考背面气体兼容表
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量 程 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM
测量范围 0.5% ~ 100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带背光按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级部分见左下角
重 复 性 ± 0.2%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃(从25 ℃开始)
± 0.01%满量程/ Atm(从校准压力开始)
质量流量量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃(从25 ℃开始)
± 0.1 %读数/ Atm(从校准压力开始)
响应时间 优于10 ms 预热时间 < 1 s
默认标况(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)
工作温度 -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)
温度精度 ± 0.75 ℃ 工作湿度 0 ~ 95%
最大工作压力 320 psi绝压
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率;
模拟信号:1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS-232、RS-485、Modbus、
EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS
模拟输出信号 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA
可选第二路模拟输出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9 - 24 VDC (12 - 24 VDC用于4-20 mA输出)
供电电流 40 mA (+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10 VDC)
电气接口 DB9M,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率(外漏) 选择HLCP选项,泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 质 302,303,304,316L不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、硅橡胶、
聚酰胺、环氧树脂、金、硅、玻璃。
如果您申请需要其它材料,请联系我们。
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求 防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA (可选)