ALICAT 高压气体质量流量计

产品特色

●  准确。流量测量具有NIST可溯源精度，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

●  使用简单。只要您打开气体质量流量计，气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

●  连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。

ALICAT 高压气体质量流量计20Q系列

精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度          ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）

测量范围                        0.1 ~ 100%满量程

重复性                           ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移          ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                      ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移          ± 0.01%读 数/ ℃温差

                                      ± 0.1 %读 数/ Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考背面气体兼容表

                   一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

测量范围    0.5% ~ 100%满量程

最大显示流量    128%满量程

显 示  屏    带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程  精度升级部分见左下角

重  复  性    ± 0.2%满量程

质量流量零点漂移     ± 0.01%满量程/ ℃（从25 ℃开始） 

                                  ± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移     ± 0.01%读数/ ℃（从25 ℃开始） 

                                  ± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）

响应时间    优于10 ms                     预热时间    < 1 s

默认标况（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃                       工作湿度    0 ~ 95%

最大工作压力    320 psi绝压

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；

                          模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号    RS-232、RS-485、Modbus、

                          EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS

模拟输出信号    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA

可选第二路模拟输出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    9 - 24 VDC （12 - 24 VDC用于4-20 mA输出）

供电电流    40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10 VDC）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）    选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

材       质     302，303，304,316L不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、硅橡胶、

                   聚酰胺、环氧树脂、金、硅、玻璃。

                   如果您申请需要其它材料，请联系我们。

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求                 防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）