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ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型

更新时间:2022-11-15

简要描述:

ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型20S系列,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可精确、快速测量腐蚀性气体(如:NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度,适用于多种流量测控场合。

型号:20S系列点击量:67

  免费咨询:86-021-59966206

  发邮件给我们:501630350@qq.com

ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型20S系列

应用及案例


● 大学/研究所

● 泄漏检测

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 半 导 体

● 汽车制造

● 计量校准

● 过程工艺气体测量

ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型20S系列

产品特色


● 数字化产品

● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等

● 可选高精度:优于0.5%

● 量程可测比1%-100%

● 响应时间快,仅需10 ms

● 内置130种常规以及腐蚀性气体

● 可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气

● 可适用于诸多腐蚀性气体



技术指标


介质要求    洁净、干燥的气体,腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类    内置了130种气体,请参考背面

                   一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程     从0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM

最大显示流量    128 %满量程

显  示  屏    带按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程)

高  精  度    ±(0.4 %读数 + 0.2 %满量程),选配

                   仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性    ± 0.2 %满量程

质量流量零点和满量程温度漂移    0.02%满量程/℃(从25℃开始)

质量流量零点和满量程压力漂移    ±(0.08% 读数+ 0.02% 满量程)

                  (从校准压力开始)

响应时间    10 ms

预热时间    <1 s

默认标况(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度    ±0.75℃

工作湿度    0 ~100 %,无冷凝

最大工作压力    1 MPa  表压

最di操作压力    如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA以上使用; 

                其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%满量程

极限耐压    1.1MPa  表压,进出口最大瞬时压差可为0.5 MPa

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率;

                模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差

供电电压     9 - 24VDC (如选4 - 20 mA输出,须为12 - 24 VDC )

供电电流     40 mA (+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC)

电气接口    DB9M,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质     316L不锈钢、FFKM(标准)

                   可根据特殊气体选用FKM、EPDM、Buna

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA(可选)


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