ALICAT 低压损气体质量流量控制器

ALICAT 低压损气体质量流量控制器21W系列

产品特色

●  数字化产品

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等

●  多参数可控：质量流量、体积流量和压力

●  可选高精度：可优于0.5 %读数

●  量程可控比宽，0.5~100 %满量程

●  满量程超低压损最di为480 Pa

●  阀门响应时间快，优于100 ms

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度      ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度         ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性                       ±（0.1%   读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移      ± 0.03% 满量程 / ℃温差

                                  ± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移      ± 0.01% 读数 / ℃温差

                                  ± 0.1 % 读数 / Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

                   一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程     从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比    0.5～100%满量程

最大显示流量    128 %满量程            

最大可控流量    102.4 % 满量程

显  示  屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）  精度升级部分见左下角

                  ±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%读数误差

重  复  性    ±（0.2 %读数+0.02 %满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移    0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移    ±（0.08 % 读数+ 0.02 % 满量程）/ Atm

                 （从校准压力开始）

控制响应时间（T63，用户可调）     小阀门：30 ms；R阀门：150 ms

显示响应时间     127 ms（用户可调）            

预热时间    ＜ 1 s

默认标况（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）  

阀门功能     常闭型

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃                        

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

最大工作压力    0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa

最di操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用； 

                   其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ± 0.75 %读数（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT

                   EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    12 - 30 VDC 

供电电流     250 mA，1 A，2 A（详情咨询），额外加 40 mA（4-20 mA）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    302、303、304、430FR不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、

                   玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、铜、金

                   R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢

过程连接    详情参考压损表

安装位置    小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）