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半导体气体分析仪

更新时间:2022-10-30

简要描述:

半导体气体分析仪OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业流程中用于连续的...

型号:OPTI-Sense系列点击量:96

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半导体气体分析仪OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业流程中用于连续的...

内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互,使得它们可以简单的整合进任何工业流程。

半导体气体分析仪支持的气体

SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他气体

半导体气体分析仪规格参数
测量原理 :非色散紫外吸收法 
应用 :现场测量 
光源 :脉冲红外发射器 
材料 :抗腐蚀的光学元件, 
           不锈钢接触液体的部件 
尺寸 (高x宽x长) :5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探测器) 
重量 :< 5 lbs 
模拟输出 :出厂设置为 0 – 1, 5, 或 10 volt 
数字交互 :RS-232 C和可选的GUI交互 
响应时间 :< 10秒 
电源 :15 VDC – 小于 10 瓦特 (可选AC 电源) 
采样端口 :KF16 – 304 SS (可选其他选项) 
校零 :支持远程校零 
漏气测试 :真空密封测试 
软件 :嵌入 (标准) - Labview GUI 交互(可选) 
认证 :CE 
保修 :1 年

半导体气体分析仪特征
NDIR 非色散红外测量法
适用于任何吸收红外光的气体
响应时间快
高敏感度
气体特异性
无耗材
无移动部件
GUI LabView软件(可选)


 



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