超纯级压力传感器

UNIK5000P

超纯级压力传感器

在半导体器件的生产过程中，压力这一物理量的测量、校准及控制是许多制程的关键组成部分。德鲁克是压力测量行业的品牌，经过逾半个世纪的积累，我们在包括半导体行业在内的诸多行业中积累了丰富应用经验。

德鲁克面向半导体等行业的超纯介质压力测量应用推出了超纯压力传感器，该系列的核心设计源于经典的UNIK5000系列。数十年来，该系列压力传感器在各类对性能及可靠性要求严苛的应用，例如航空航天、发动机测试及其他工业压力测试等领域中获得了广泛认可。

同时，UNIK5000P系列超纯压力传感器采用专用生产及包装制程，以确保所需的超纯、无油特性得以满足。基于大量应用的反馈结果，该系列拥有优良的可靠性和稳定性。融合了高精度、高稳定性以及低成本特性的UNIK系列超纯压力传感器业已得到诸多用户的认可。

应用行业

·半导体、太阳能、液晶面板制造设备等·超纯介质和特殊气体系统压力测量

应用介质

·超纯及有毒等特种介质

特点

量程最大可5000psi

综合测量精度可达士0.2%FS BSL

补偿温度范围可达-40 ~+125°C

硅压阻敏感元件，年稳定性士0.05%FS，具备高可靠性

快速响应时间，上电时间小于30ms

具备完整的半导体工艺过程压力接口选项

接液部分采用EP电解抛光，Ra<0.13μm(RA5)，符合SEMI F19

适用于与316L不锈钢和哈氏合金C276兼容的超纯流体，接液部分材质符合SEMIF20，VIMNAR材质可选

接液部分脱脂清洗，产品采用双层真空包装

·危险区域认证可选