更新时间:2021-08-28
不锈钢精密气体减压器Sα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计;中等压力输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于标准气体、高纯气体、低浓度(≤1%)腐蚀性气体等(可用于小流量液体)。标准流量60L/min。
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不锈钢精密气体减压器Pα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计;中等压力输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量60L/min。
工作条件:
进口压力 | 15MPa |
出口压力 | 0~0.99MPa |
CV值 | 0.02 |
爆破压力 | 35MPa |
原压变动 | 0.00021MPa (入口压力变化0.1MPa时,出口压力的变化量) |
温度 | -10~+70℃ |
外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
安装方式 | 前面板安装,后面板安装 |
不锈钢精密气体减压器产品特点:
柔性膜片结构,手柄特殊结构设计,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
单级式减压,死体积小,便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理,增加腐蚀性
内置精密过滤器,保证气体洁净
超纯水清洗
主要部件材料:
零部件名称 | Part | 材料(Materials) |
后盖 | Bonnet | SUS316 |
阀体 | Body | SUS316L |
阀针 | Poppet | SUS316L |
膜片 | Diaphragm | SUS316L |
密封垫 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |