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不锈钢精密气体减压器

更新时间:2021-08-28

简要描述:

不锈钢精密气体减压器Sα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计;中等压力输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于标准气体、高纯气体、低浓度(≤1%)腐蚀性气体等(可用于小流量液体)。标准流量60L/min。

型号:Sα-1H点击量:1344

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不锈钢精密气体减压器Pα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计;中等压力输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量60L/min。

 

工作条件:

进口压力15MPa
出口压力0~0.99MPa
CV值0.02
爆破压力35MPa
原压变动0.00021MPa
(入口压力变化0.1MPa时,出口压力的变化量)
温度-10~+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安装方式前面板安装,后面板安装

 

不锈钢精密气体减压器产品特点:

柔性膜片结构,手柄特殊结构设计,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
单级式减压,死体积小,便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理,增加腐蚀性
内置精密过滤器,保证气体洁净
超纯水清洗

 

主要部件材料:

零部件名称Part材料(Materials)
后盖BonnetSUS316
阀体BodySUS316L
阀针PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封垫SeatPTFE、PCTFE或PEEK


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