更新时间：2021-08-28
不锈钢精密气体减压器Sα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计；中等压力输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于标准气体、高纯气体、低浓度（≤1%）腐蚀性气体等（可用于小流量液体）。标准流量60L/min。
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不锈钢精密气体减压器Pα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计；中等压力输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量60L/min。
工作条件：
| 进口压力 | 15MPa |
| 出口压力 | 0～0.99MPa |
| CV值 | 0.02 |
| 爆破压力 | 35MPa |
| 原压变动 | 0.00021MPa （入口压力变化0.1MPa时，出口压力的变化量） |
| 温度 | -10～+70℃ |
| 外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
| 安装方式 | 前面板安装，后面板安装 |
不锈钢精密气体减压器产品特点：
柔性膜片结构，手柄特殊结构设计，调节顺畅，输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
单级式减压，死体积小，便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理，增加腐蚀性
内置精密过滤器，保证气体洁净
超纯水清洗
主要部件材料：
| 零部件名称 | Part | 材料（Materials） |
| 后盖 | Bonnet | SUS316 |
| 阀体 | Body | SUS316L |
| 阀针 | Poppet | SUS316L |
| 膜片 | Diaphragm | SUS316L |
| 密封垫 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |
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