更新时间：2024-05-20
半导体行业超声波流量计洁净室环境中的高优先事项之一是避免溶解的金属对流动介质（例如超纯水或去离子水，清洁剂，溶剂以及酸和腐蚀性）的潜在污染。
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半导体行业超声波流量计洁净室环境中的高优先事项之一是避免溶解的金属对流动介质（例如超纯水或去离子水，清洁剂，溶剂以及酸和腐蚀性）的潜在污染。
洁净室环境中的高优先事项之一是避免溶解的金属对流动介质（例如超纯水或去离子水，清洁剂，溶剂以及酸和腐蚀性）的潜在污染。
因此，FLEXIM开发了一种*超声仪，非常适合于以下应用：
FLUXUS半导体的设计和制造不含任何金属组件。此外，由于将其安装在弹性管或弹性管的外部，因此不会侵入，不会直接与介质接触，因此永远不会有任何泄漏或污染的可能性。此外，无需进行昂贵的安装过程停机，并且系统本身几乎无需维护。
可靠性和准确性是FLEXIM的基石之一。即使安装在弹性管上，FLUXUS半导体也不例外。特殊的夹具可确保稳定耐用的安装，多年来可提供的精度。
因此，FLUXUS半导体通过精确，可靠和安全地监控任何流动介质的消耗和流速，即使在每小时低至几升的极低流速下，也是洁净室环境中经济运行的理想流量计。
1，外夹式流量测量，测量精度高，适合固定使用
2，传感器安装夹具和传感器不含金属
3，适用于管径为 3/8"、1/2"、3/4"、1"、1 1/4"、1 1/3"、1 1/2"的塑料管 和和挠性管（其他视应用而定）
4，即使在低流速下确保高精度测量
5，在过程运行中可进行安装和调试，无需停车
6，传感器固定在管道外侧，因此没有污染或泄漏的风险
7，用户友好的菜单界面固件特别适合于半导体行业的需求
半导体行业的流量测量
高腐蚀性物质，如酸或碱
清洁剂
溶剂
超纯流体
精度
±1.5 % v. MW ±0.01 m/s
重复性
0.25 % 读数，视应用而定
流速范围
0.01...25 m/s
防区主机
only safe area
供电电源
100...230V/50-60Hz或
20...32V DC 或
11...16 V DC
可用传感器
剪切波
对于防爆区
无
适用于管道尺寸范围
8mm ... 51mm，请参考尺寸图
适用于温度范围
-20°C .... 100°C
输出
1x 4-20mA active
2x pulse/binary
输入
---
数字通信
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus
对于手动360°视图，向左或向右拉动图像
发邮件给我们：501630350@qq.com
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