气体质量流量控制器

上海睿丹自动化仪表有限公司生产气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

气体质量流量控制器产品特点

自带显示，可独立运行

质量流量控制器执行JJG1132-2017国家标准进口电磁比例阀，使用寿命更长

采用RS-485通信接口，可远程组网使用可通过RS-485对MFC进行校准标定紧凑型外观设计，节约更多空间

内置高精度MEMS传感器，测量控制更精准

所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度任意角度安装均不影响气体流量专业团队，提供优质服务

气体质量流量控制器最大量程 50sccm-5slpm(可定制) 

精度 +1%F.S. 

气体类型 H/He/N/Air/Ar(可定制) 

响应时间 1s 

压差范围 <1MPa 

工作温度 0~50℃ 

工作湿度 0~95%R.H.(非冷凝) 

工作电压 DC24V+10%/DC12V+10% 

信号接口 RS-485(Modbus) 

气路材质 不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层 

气路接口 1/16 或 1/8或 1/4 

尺寸 60x26x80mm