更新时间:2021-08-09
上海睿丹自动化仪表有限公司生产气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。
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上海睿丹自动化仪表有限公司生产气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。
气体质量流量控制器产品特点
自带显示,可独立运行
质量流量控制器执行JJG1132-2017国家标准进口电磁比例阀,使用寿命更长
采用RS-485通信接口,可远程组网使用可通过RS-485对MFC进行校准标定紧凑型外观设计,节约更多空间
内置高精度MEMS传感器,测量控制更精准
所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度任意角度安装均不影响气体流量专业团队,提供优质服务
气体质量流量控制器最大量程 50sccm-5slpm(可定制)
精度 +1%F.S.
气体类型 H/He/N/Air/Ar(可定制)
响应时间 1s
压差范围 <1MPa
工作温度 0~50℃
工作湿度 0~95%R.H.(非冷凝)
工作电压 DC24V+10%/DC12V+10%
信号接口 RS-485(Modbus)
气路材质 不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层
气路接口 1/16 或 1/8或 1/4
尺寸 60x26x80mm